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    使用等離子清洗機(jī)有什么要注意的

    時(shí)間:2022-05-11 16:05 針對(duì)目前支持和購(gòu)買過(guò)昭沅等離子清洗機(jī)的客戶,在日常使用過(guò)程中所遇到的問(wèn)題,我們用文字整理羅列出來(lái)了以下幾點(diǎn),由小編來(lái)為大家解答:
     使用等離子清洗機(jī)有什么要注意的
    1.發(fā)現(xiàn)試驗(yàn)效果不佳,怎么辦?
     
    答:請(qǐng)查看泵油顏色是否暗淡,污濁,并及時(shí)更換泵油。
     
    2:等離子清洗機(jī)不起輝光怎么辦?
     
    答:1. 射頻燈未能提供射頻;
     
    2. 密封性可能存在漏氣問(wèn)題。
     
    3:如何排查射頻燈問(wèn)題?
     
    答:使用設(shè)備標(biāo)配的測(cè)試燈管,放入主機(jī)腔體內(nèi),打開“RF”開關(guān)至“Hi”檔,通過(guò)觀察燈管狀態(tài)判斷射頻燈問(wèn)題(此過(guò)程不需抽真空)。
     
    4:密封性問(wèn)題如何解決?
     
    答:1. 確保使用的真空泵能夠達(dá)到或超過(guò)最小抽速1.4立方米每小時(shí)和極限負(fù)壓不大于200mTorr;
     
    2. 然后檢查真空軟管、所有軟管卡箍和氣體進(jìn)氣管路連接件是否正確并擰緊,等離子清洗機(jī)艙門是否正確關(guān)閉,門密封圈的地方是否清潔無(wú)缺陷。
     
    5:是否有建議的清洗工藝參數(shù)?
     
    答:射頻功率等級(jí)應(yīng)設(shè)置為中檔或高檔,600-800毫托壓力和1-3分鐘處理時(shí)間是比較好的工藝參數(shù)的初始值,最佳工藝參數(shù)值將取決于樣品材料和預(yù)期的應(yīng)用,這需要一些實(shí)驗(yàn)來(lái)確定這些最佳值。
     
    6:如何測(cè)量真空負(fù)壓值?
     
    答:可以找我們購(gòu)買相對(duì)應(yīng)的測(cè)量設(shè)備,比如:真空監(jiān)視單元或氣體流量混合儀。
     
    7:為什么泵油會(huì)回流?
     
    答:如果配套泵浦是油泵的話,當(dāng)工藝處理完成后,設(shè)備艙體內(nèi)部不立即減壓的話,油可能從真空油泵返流造成污染系統(tǒng),我們建議使用有防回吸功能的真空泵。
     
    8:如何清洗等離子清洗機(jī)真空腔內(nèi)壁?
     
    答:需定期清洗真空艙內(nèi)壁、艙門以及O形圈,清洗方法請(qǐng)參見(jiàn)標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室玻璃器皿清洗方法,如可用酒精、丙酮或異丙醇浸泡或輕輕擦拭等離子體腔室的表面。
     



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