離子泵的發(fā)展史
從上世紀(jì)五十年代,由瓦里安公司首先發(fā)明的濺射離子泵問世以來,越來越多的新設(shè)計和新技術(shù)投入使用,其中大部分源自瓦里安公司,即現(xiàn)在的安捷倫科技。從二極型離子泵,到三極型離子泵,再到Starcell 系列產(chǎn)品乃至世界聞名的VacIon Plus 產(chǎn)品家族等。
VacIon Plus
— VacIon Plus 是安捷倫科技旗下的世界知名的離子泵產(chǎn)品家族,包括全系列離子泵、控制電源、可選配件及附件??蔀楦鞣N應(yīng)用提供相應(yīng)解決方案。除標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品外,安捷倫科技還為特定應(yīng)用提供包括電源及相關(guān)附件在內(nèi)的專屬解決方案,以滿足用戶對起始工作壓強(qiáng)、離子泵工作范圍以及不同成份混合氣體等指標(biāo)的特殊要求。