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上海昭沅提供石英基片、石英板、菲林板等光刻掩膜版,根據(jù)客戶需求定制!
上海昭沅提供石英基片、石英板、菲林板等光刻掩膜版,根據(jù)客戶需求定制!
掩膜版(Photomask),又稱光罩、光掩膜、光刻掩膜版等,是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版, 由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形,并通過(guò)曝光將圖形轉(zhuǎn)印到產(chǎn)品基板上。掩膜版是芯片制造過(guò) 程中的圖形“底片”,用于轉(zhuǎn)移高精密電路設(shè)計(jì),承載了圖形設(shè)計(jì)和工藝技術(shù)等知識(shí)產(chǎn)權(quán)信息。掩模版用于芯片 的批量生產(chǎn),是下游生產(chǎn)流程銜接的關(guān)鍵部分,是芯片精度和質(zhì)量的決定因素之一。
掩膜版根據(jù)基板材質(zhì)的不同可分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)。石英掩膜版使用 石英玻璃作為基板材料,光學(xué)透過(guò)率高,熱膨脹率低,相比蘇打玻璃更為平整耐磨,使用壽命長(zhǎng),主要用于高 精度掩膜版;蘇打掩膜版則使用蘇打玻璃作為基板材料,光學(xué)透過(guò)率較高,熱膨脹率相對(duì)高于石英玻璃,平整 度和耐磨性相對(duì)弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版;而凸版使用不飽和聚丁二烯樹(shù)脂作為基板材料,主 要用于液晶顯示器(LCD)制造過(guò)程中的定向材料移?。环屏质褂?PET 作為基板材料,主要用于電路板掩膜。
2.5英寸-9英寸尺寸范圍都可定制。
掩膜版應(yīng)用十分廣泛,在涉及光刻工藝的領(lǐng)域都需要使用掩膜版。
上海市浦東新區(qū)巨峰路1058弄新紫茂國(guó)際大廈3號(hào)樓901室
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