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    PE-100等離子表面處理機(jī)

    PE-100等離子表面處理機(jī)是一款集綜合功能于一身的重量級(jí)產(chǎn)品。既可以應(yīng)用于大學(xué),科學(xué)研究機(jī)構(gòu),又能在工業(yè)級(jí)應(yīng)用領(lǐng)域針對(duì)于小批量生產(chǎn)發(fā)揮強(qiáng)大作用。

    美國(guó)產(chǎn)PE-100實(shí)驗(yàn)室等離子表面處理機(jī)
     

        PE-100等離子表面處理系統(tǒng)是一款集綜合功能于一身的重量級(jí)產(chǎn)品。既可以應(yīng)用于大學(xué),科學(xué)研究機(jī)構(gòu),又能在工業(yè)級(jí)應(yīng)用領(lǐng)域針對(duì)于小批量生產(chǎn)發(fā)揮強(qiáng)大作用。

    產(chǎn)品特點(diǎn):


    1.體積小,臥式設(shè)計(jì),可放置在實(shí)驗(yàn)臺(tái)上或小推車(chē)上,方便靈活的移動(dòng)。

    2.性能可靠,“度量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無(wú)縫焊接,有效處理面積達(dá)到約229mm*330mm.間距76mm(3層電極)可以輕松將大部分實(shí)驗(yàn)樣品放入真空腔體內(nèi)并實(shí)現(xiàn)小批量生產(chǎn)。

    3.配置靈活PE-100可配置不同的頻率及功率:100-460KHz/13.56MHz還提供不同的功率以供用戶選擇。在控制系統(tǒng)上,可選擇PLC微電腦控制或更精準(zhǔn)的全數(shù)字電腦控制,以滿足不同用戶的要求。

    4.可以配置過(guò)程控制的溫控電極與RIE反應(yīng)性等離子體處理系統(tǒng)。

    5. 操作簡(jiǎn)便,一般操作人員在極短的時(shí)間內(nèi)就可以熟練操作,甚至只需要幾分鐘就可掌握。

    6.安全保障:在小型設(shè)備中,引入一鍵急停保護(hù)按鈕,可以快速終止實(shí)驗(yàn),以最小程度降低因操作失誤而造成對(duì)樣品的損害。







    外部尺寸 432mm*711mm*762mm重量:73Kg
    真空腔材質(zhì) 耐用的焊接6061T6鋁合金真空腔
    真空腔尺寸 約305mm寬*356mm深*305mm高
    電極尺寸 約229mm*330mm.間距76mm(3層電極)
    等離子發(fā)生器 300W@100-460KHz(可選配13.56MHz
    供氣 質(zhì)量流量控制器:O-50cc(連續(xù)可調(diào))
    壓力測(cè)量 Pirini真空計(jì):0-1Torr
    控制器 基于WINDOWS操作系統(tǒng)的控制系統(tǒng)
    安全保障 一鍵急停按鈕
    電源 220VAC,14A


    附件(可選件)

    抽氣裝置:推薦型號(hào):6.5CFM  2級(jí)直驅(qū)真空油泵
    300w/13.56Mhz可自動(dòng)調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器
    一層電極
    溫控電極
    RIE反應(yīng)性電極
    可控速率氮?dú)庾詣?dòng)吹掃裝置
    靜電屏蔽裝置





    樣品處理實(shí)例:LED燈基片  處理前后對(duì)比






     
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