PE100粉體專用等離子處理設備
設備特點:
1. 體積小,配備小型真空泵,無需占用很大空間,可以放置在任何實驗臺上。
2. 獨創(chuàng)的粉體收集裝置,可以處理500~1000ML粉體
3. 配置靈活PE-100擁有靈活多變的參數(shù)配置組合,能夠勝任使用者的不同需求。除了配置不同的頻率(100~460KHz,13.56MHz)不同的頻率段,還提供不同的功率以供用戶選擇。在控制系統(tǒng)上,也配置了面板控制和更精準的全數(shù)字電腦控制,以滿足用戶的使用要求。
4. 操作簡便,設備的安裝非常簡單,工廠提供詳盡的說明和相應的管道等配件。面板的操作部分,在設計中做到盡可能簡單和避免誤操作。一般操作人員在極短的時間內(nèi)就可以熟練操作,甚至只需要幾分鐘就可掌握。
5. 安全保障:在小型設備中,引入一鍵急停保護按鈕,當參數(shù)設置有誤而設備已經(jīng)啟動的時候,可以快速終止實驗,以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。
外部尺寸 |
432mm* 711mm*762mm 重量:73Kg |
真空腔材質(zhì) |
耐用的焊接6061 T6鋁合金真空腔 |
真空腔尺寸 |
約305mm寬*356mm深*305mm高 |
電極尺寸 |
多向自動耦合匹配電極,粉體收集裝置 |
等離子發(fā)生器 |
300W100 KHz 連續(xù)可調(diào),可選13.56MHz |
供氣 |
質(zhì)量流量控制器: O-50cc (連續(xù)可調(diào)) |
壓力測量 |
Pirini真空計:0-1Torr |
控制器 |
基于WINDOWS操作系統(tǒng)的控制系統(tǒng) |
安全保障 |
一鍵急停按鈕 |
電源 |
220VAC,14A |
可選配置
等離子發(fā)生器功率和頻率:300W,13.56 MHz
過程溫度控制;
自定義電極配置;
RIE(反應離子電極)配置;
靜電屏蔽
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