PE-200型等離子表面處理系統(tǒng)
PE-200是一款工業(yè)強(qiáng)度的等離子清洗系統(tǒng),牢固可靠,而且性價(jià)比高,適合各類(lèi)制造型企業(yè)能滿足7天X24小時(shí)不間斷運(yùn)行。全鋁反應(yīng)腔提供非常充裕的尺寸,可處理表面積超過(guò)500平方英寸。
PE-200焊接鋁真空反應(yīng)腔包含一個(gè)寬松的500平方英寸的有效等離子處理面積。通過(guò)PLASMETCH表面改性可以獲得增強(qiáng)的結(jié)合力和提升多數(shù)表面材料的潔凈度。
典型的客戶包括:先進(jìn)生產(chǎn)制造工程,研究和開(kāi)發(fā)實(shí)驗(yàn)室,測(cè)試工廠以及大學(xué)。工業(yè)客戶包括生物醫(yī)藥,牙科,電子,光電子,醫(yī)療器械,塑料,光學(xué),太陽(yáng)能電池電池板等。.
特性:
使用我們的等離子清洗機(jī)處理,相比較化學(xué)浸泡方法,可以避免昂貴的有害化學(xué)廢水處理。等離子處理非常容易使用,通過(guò)導(dǎo)引型觸摸屏操作控制等離子過(guò)程的各個(gè)參數(shù),來(lái)確保高重復(fù)性。
我們可以為客戶定制反應(yīng)腔和電極,來(lái)滿足您的產(chǎn)品或是過(guò)程需要,包括定制尺寸水平電極,RIE(反應(yīng)離子蝕刻)和半導(dǎo)體引線邊框的布局。
標(biāo)準(zhǔn)配置:
焊接鋁真空反應(yīng)腔
3層水平處理電極13”寬x16”深3”間隔距離
300瓦射頻發(fā)生器@13.56MHZ帶自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)
一個(gè)200sccm質(zhì)量流量控制器
皮拉尼真空計(jì)0-1托
微處理器控制系統(tǒng),帶觸摸屏界面,存儲(chǔ)20組過(guò)程參數(shù)
PE-200提供三種功能配置:
1.常規(guī)的等離子清洗和等離子蝕刻
2.反應(yīng)離子蝕刻(RIE)
3.PE-200可轉(zhuǎn)換配置,一個(gè)系統(tǒng)包含各向異性和各向同性等離子體處理可移除托盤(pán)配置。
選項(xiàng)
靜電防護(hù)
過(guò)程溫度控制
600W射頻發(fā)生器@13.56MHz帶600W自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)
信號(hào)燈塔
2個(gè)質(zhì)量流量控制器(最多3個(gè))
軟件選擇5種過(guò)程氣體輸入矩陣
控制氮?dú)廨斎胨俾?br />
定制反應(yīng)腔尺寸和電極尺寸
RIE(反應(yīng)離子蝕刻)配置
客戶制作各種陶瓷部件,為了檢測(cè)等離子處理這些陶瓷的效果,處理前后進(jìn)行接觸角測(cè)試。處理前,接觸角88度。處理后,接觸角降低到12度。接觸角在每個(gè)樣品的5個(gè)位置進(jìn)行測(cè)試,接觸角偏差2度。接下來(lái)的測(cè)試顯示,接觸角較低會(huì)顯著提升結(jié)合力。