PE-200型等離子表面處理系統(tǒng)
PE-200是一款工業(yè)強度的等離子清洗系統(tǒng)，牢固可靠，而且性價比高，適合各類制造型企業(yè)能滿足7天X24小時不間斷運行。全鋁反應(yīng)腔提供非常充裕的尺寸，可處理表面積超過500平方英寸。
PE-200焊接鋁真空反應(yīng)腔包含一個寬松的500平方英寸的有效等離子處理面積。通過PLASMETCH表面改性可以獲得增強的結(jié)合力和提升多數(shù)表面材料的潔凈度。
典型的客戶包括：先進(jìn)生產(chǎn)制造工程，研究和開發(fā)實驗室，測試工廠以及大學(xué)。工業(yè)客戶包括生物醫(yī)藥，牙科，電子，光電子，醫(yī)療器械，塑料，光學(xué)，太陽能電池電池板等。.
特性：
使用我們的等離子清洗機(jī)處理，相比較化學(xué)浸泡方法，可以避免昂貴的有害化學(xué)廢水處理。等離子處理非常容易使用，通過導(dǎo)引型觸摸屏操作控制等離子過程的各個參數(shù)，來確保高重復(fù)性。
我們可以為客戶定制反應(yīng)腔和電極，來滿足您的產(chǎn)品或是過程需要，包括定制尺寸水平電極，RIE(反應(yīng)離子蝕刻)和半導(dǎo)體引線邊框的布局。
標(biāo)準(zhǔn)配置：
焊接鋁真空反應(yīng)腔
3層水平處理電極13”寬x16”深3”間隔距離
300瓦射頻發(fā)生器@13.56MHZ帶自動匹配網(wǎng)絡(luò)
一個200sccm質(zhì)量流量控制器
皮拉尼真空計0-1托
微處理器控制系統(tǒng)，帶觸摸屏界面，存儲20組過程參數(shù)
PE-200提供三種功能配置：
1.常規(guī)的等離子清洗和等離子蝕刻
2.反應(yīng)離子蝕刻（RIE）
3.PE-200可轉(zhuǎn)換配置，一個系統(tǒng)包含各向異性和各向同性等離子體處理可移除托盤配置。
選項
靜電防護(hù)
過程溫度控制
600W射頻發(fā)生器@13.56MHz帶600W自動匹配網(wǎng)絡(luò)
信號燈塔
2個質(zhì)量流量控制器（最多3個）
軟件選擇5種過程氣體輸入矩陣
控制氮氣輸入速率
定制反應(yīng)腔尺寸和電極尺寸
RIE(反應(yīng)離子蝕刻)配置
客戶制作各種陶瓷部件，為了檢測等離子處理這些陶瓷的效果，處理前后進(jìn)行接觸角測試。處理前，接觸角88度。處理后，接觸角降低到12度。接觸角在每個樣品的5個位置進(jìn)行測試，接觸角偏差2度。接下來的測試顯示，接觸角較低會顯著提升結(jié)合力。
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