Kosaka ET150臺(tái)階儀

KOSAKAET150基于WindowsXP系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS及平板顯示等。

產(chǎn)品描述
技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
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KosakaET150臺(tái)階儀

株式會(huì)社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年創(chuàng)立，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專業(yè)廠商，主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。

KOSAKAET150基于WindowsXP操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測(cè)量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200能精確可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。

ET150配備了各種型號(hào)探針，提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測(cè)試區(qū)域。

型號(hào)		ET150
最大樣品尺寸		φ160x48mm
樣品臺(tái)	尺寸	φ160
	傾斜度	±2°（XY手動(dòng)）
	承重	2Kg
檢出器	觸針力	10μN-500μN（1mg-50mg）
	范圍	600μm（0.1nm分辨率）
	驅(qū)動(dòng)	直動(dòng)式（差動(dòng)變壓器）
	觸針	R2μm頂角60°
X軸	最大測(cè)長(zhǎng)	100mm
	直線度	0.02μm/100mm
	速度	0.005-20mm/s
	重復(fù)性	±5μm（定位）
Y軸	最大測(cè)長(zhǎng)	25mm/手動(dòng)
Z軸	最大測(cè)長(zhǎng)	50mm
放大倍數(shù)	垂直	50-2000000
放大倍數(shù)	水平	1-10000
監(jiān)控系統(tǒng)	攝像裝置	1/3inchCCD
	監(jiān)視裝置	視頻捕捉板
	移動(dòng)方法	手動(dòng)
輔助功能		教學(xué)、機(jī)動(dòng)傾斜、傾斜度分析、檢出器自動(dòng)停止功能等
應(yīng)用		成像、臺(tái)階、粗糙度、波紋度和傾斜度
重復(fù)性		1σ1nm
電源		AC90-240V50/60Hz300VA
外觀尺寸		W500xD440xH630mm120Kg（不含防震臺(tái)）

前制程機(jī)臺(tái)（如曝光機(jī)、濺鍍機(jī)、蝕刻機(jī)）bestrecipe找尋。
例如：PVD、CVD、DLC真空濺鍍薄膜臺(tái)階、應(yīng)力測(cè)試及軟質(zhì)光阻材料等薄膜臺(tái)階測(cè)量。

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