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您的當(dāng)前位置：首頁(yè)產(chǎn)品中心臺(tái)階儀/粗糙度儀ET4000臺(tái)階儀
ET4000具有穩(wěn)定性和重復(fù)性，可測(cè)量FPD、晶片、磁盤，和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺(tái)階高度和粗糙度等。
ET4000具有穩(wěn)定性和重復(fù)性，可測(cè)量FPD、晶片、磁盤，和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺(tái)階高度和粗糙度等。堅(jiān)固的花崗巖材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度，并降低了地板噪音對(duì)測(cè)量的干擾。ET4000為滿足用戶不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置，通過選配三維成像附件套裝還可以極大地?cái)U(kuò)充儀器的功能。
1.具有很好的臺(tái)階高度重復(fù)性5Å(1σ)和線性度（垂直線性度：200nm以上為±0.25%；200nm以下為0.5nm）；
2.高分辨率，縱軸最大分辨率為0.1nm，橫軸為0.01μm，可精確測(cè)量納米級(jí)至幾百微米級(jí)臺(tái)階高度；
3.超高直線度：0.005μm/5mm，可測(cè)定微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等；
4.低測(cè)定力：采用直動(dòng)力LVDT檢出器，觸針力在0.5μN～500μN范圍可以任意調(diào)節(jié)，可測(cè)定軟質(zhì)材料；
5.即時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)：配置標(biāo)準(zhǔn)CCD，可即時(shí)監(jiān)控量測(cè)位置；還可選購(gòu)TopViewCCD，進(jìn)行高精度定位量測(cè)；
7.采用天然金剛石(R2μm)作為探頭，經(jīng)久耐用；
| 型號(hào) | ET4000M | ET4000A | ET4000L | |
| 最大樣品尺寸 | 300x300mm | 210x210mm | 300x400mm | |
| 樣品臺(tái) | 尺寸 | 320x320mm | 220x220mm | 540x400mm |
| X軸傾斜度 | ±1mm/150mm(機(jī)動(dòng)傾斜） | |||
| Y軸傾斜度 | —— | ±1mm/150mm(機(jī)動(dòng)傾斜） | ||
| 承重 | 2Kg | |||
| 檢出器 | 力 | 0.5μN-500μN（0.05mgf-50mgf）可調(diào)節(jié) | ||
| 范圍 | 100μm | |||
| 驅(qū)動(dòng) | LVDT直動(dòng)式（差動(dòng)變壓器） | |||
| 觸針 | ET-1479(R2μm) | ET-1479(R2μm)ET-1480(R0.5μm) | ||
| X軸 | 最大測(cè)長(zhǎng) | 100mm | ||
| 直線度 | 0.005μm/5mm(0.1μm/100mm) | |||
| 速度 | 0.005-2mm/s(定位速度10mm/s） | |||
| 重復(fù)性 | ±5μm（定位） | |||
| Y軸 | 最大測(cè)長(zhǎng) | —— | 150mm | 400mm |
| 直線度 | —— | 5μm/150mm | ||
| 重復(fù)性 | —— | ±5μm（定位） | ||
| Z軸 | 最大測(cè)長(zhǎng) | 52mm | ||
| 放大倍數(shù) | 垂直 | 50-2000000 | ||
| 水平 | 1-10000 | |||
| 3D | —— | 可選擇 | ||
| θ軸 | —— | 可選擇 | ||
| 輔助功能 | 教學(xué)、機(jī)動(dòng)傾斜、傾斜度分析、檢出器自動(dòng)停止功能等 | |||
| 監(jiān)控系統(tǒng) | 攝像裝置 | 1/2inchCCD(768x494像素） | ||
| 監(jiān)視裝置 | 視頻捕捉板 | |||
| 應(yīng)用 | 成像、臺(tái)階、粗糙度、波紋度和傾斜度 | |||
| 重復(fù)性 | 1σ0.5nm | |||
| 電源 | AC100V800VA | |||
| 外觀尺寸 | W660xD580xH660mm200Kg | W930xD930xH790mm380Kg | ||
全自動(dòng)接觸式輪廓儀ET4000系列可適用于薄膜、FPD、晶片、磁盤和與納米材料相關(guān)物件，測(cè)量微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微量流控、精細(xì)加工和存儲(chǔ)器等行業(yè)。
上海市浦東新區(qū)巨峰路1058弄新紫茂國(guó)際大廈3號(hào)樓901室
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