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    PE25實驗室等離子清洗機

    PE-25是專門針對于大學/科研機構(gòu)研發(fā)的小批量樣品處理裝置,具有移動方便、多種配置功能、高性能及穩(wěn)定性、操作方便的特點。

    美國產(chǎn)Plasma CleaningSystem
    PE-25臺式實驗室等離子表面處理機



    PE-25小型等離子表面處理機是專門針對于大學,研究機構(gòu)和工廠研發(fā)機構(gòu)設(shè)計的小批量樣品處理裝置.作為有針對的設(shè)計,突出移動方便,多種配置功能和高性能以及穩(wěn)定性,操作方便的使用特性。

    設(shè)備特點:


    1.體積小,(寬356mm*高368mm*深457mm),可放置在任何實驗臺上。

    2.性能可靠,“肚量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無縫焊接,電極面積達到89mm*170mm,腔體與電極之間的間隙可到53mm,樣品放置空間大。

    3.配置靈活,可配置不同的頻率及功率:50KHz,13.56MHz;控制系統(tǒng)可選擇了PLC微電腦控制和更精準的全數(shù)字電腦控制,以滿足不同用戶的要求。

    4.操作簡便,一般操作人員在極短的時間內(nèi)就可以熟練操作,甚至只需要幾分鐘就可掌握。

    5. 安全保障:在小型設(shè)備中,引入一鍵急停保護按鈕,可以快速終止實驗,以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。







    外部尺寸 356mm*368mm*457mm
    真空腔材質(zhì) 6061T6鋁合金真空腔
    真空腔尺寸 127mm*203mm
    電極尺寸 89*178mm,間隙63mm
    等離子發(fā)生器 功率max.400w(可調(diào))
    頻率:50KHz(可選配13.56MHz)
    供氣 氣體流量控制器0-25cc/minw/精密針形閥
    壓力測量 熱電偶真空計0-1Torr
    控制器 PLC微電腦控制系統(tǒng)。
    安全保障 一鍵急停按鈕
    電源 220VAC,14A

    附件(可選件)

    抽氣裝置:推薦型號:5CFM 2級直驅(qū)真空油泵
    •氧氣發(fā)生器
    •附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器,0-25cc/min
    •50KHz/400w可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器,13.56MHz/125W/300W可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器自動阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)電源(HF)RFPowerSupply&AutoMatchingNetwork
    •接枝設(shè)備


    高級配置:

    •PC/筆記本電腦的控制系統(tǒng):基于Windows操作系統(tǒng),裝有等Plasma Etch操作軟件的筆記本電腦,包括全自動系統(tǒng)操作,流程排序,多配方存儲,以及其他高級功能。
    •質(zhì)量流量控制器:附加質(zhì)量流量控制器也可提供。
    •氣流減壓裝置。





    樣品處理實例(碳化鎢基底上的DLC涂層去除)




     
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