021-35359028
Products
PE-25是專門針對于大學/科研機構(gòu)研發(fā)的小批量樣品處理裝置,具有移動方便、多種配置功能、高性能及穩(wěn)定性、操作方便的特點。
外部尺寸 | 356mm*368mm*457mm |
真空腔材質(zhì) | 6061T6鋁合金真空腔 |
真空腔尺寸 | 127mm*203mm |
電極尺寸 | 89*178mm,間隙63mm |
等離子發(fā)生器 |
功率max.400w(可調(diào)) 頻率:50KHz(可選配13.56MHz) |
供氣 | 氣體流量控制器0-25cc/minw/精密針形閥 |
壓力測量 | 熱電偶真空計0-1Torr |
控制器 | PLC微電腦控制系統(tǒng)。 |
安全保障 | 一鍵急停按鈕 |
電源 | 220VAC,14A |
上海市浦東新區(qū)巨峰路1058弄新紫茂國際大廈3號樓901室
021-35359028
1399511421
38012725