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    PE50實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)
    
             
    PE-50小型等離子表面處理機(jī)是專門針對(duì)于大學(xué)/科研機(jī)構(gòu)研發(fā)的小批量樣品處理裝置，具有移動(dòng)方便、多種配置功能、超高性能及穩(wěn)定性、操作方便的特點(diǎn)。
    
          
    
        
    
        
    
          
        
    
        
    
          
    
              
    
	美國產(chǎn)Plasma Cleaning System
    
	
    
	PE-50臺(tái)式實(shí)驗(yàn)室等離子表面處理機(jī)
    

    
PE-50小型等離子表面處理設(shè)備是專門適用于大學(xué)研究機(jī)構(gòu)和工廠研發(fā)部門設(shè)計(jì)的小批量樣品處理裝置.作為有針對(duì)的設(shè)計(jì)，突出移動(dòng)方便，高功能和性能，操作方便的使用特性。
    

    

    
	設(shè)備特點(diǎn):
    

    
1.體積小(寬356mmx高368mmx深457mm)，可放置在任何實(shí)驗(yàn)臺(tái)上。
    

    
2.性能可靠“肚量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無縫焊接，電極面積達(dá)到114mmx152mm，腔體與電極之間的間隙可到51mm，樣品放置空間大。另外，PE-50可以升級(jí)成PE-50XL，處理面積達(dá)到191mmx223mmx90mm。
    

    
3.配置靈活可配置不同的頻率及功率：50KHz/13.56MHz；控制系統(tǒng)可選擇了PLC微電腦控制和更精準(zhǔn)的全數(shù)字電腦控制，以滿足不同用戶的要求。
    

    
4.操作簡便，一般操作人員在極短的時(shí)間內(nèi)就可以熟練操作，甚至只需要幾分鐘就可掌握。
    

    
5. 安全保障：在小型設(shè)備中，引入一鍵急停保護(hù)按鈕，可以快速終止實(shí)驗(yàn)，以最小程度降低因操作失誤而造成對(duì)樣品的損害。
    

    

    

    

          
    
          
    
             
    

    

    

    
	
		
    
			
				外部尺寸
			
				356mmWx368mmDx457mmH
		
    
		
    
			
				真空腔材質(zhì)
			
				耐用的焊接6061 T6鋁合金真空腔
		
    
		
    
			
				真空腔尺寸
			
				（約140mm寬x179mm深x89mm高）
		
    
		
    
			
				電極尺寸
			
				114mm（寬）x152mm（深）間隙51mm
		
    
		
    
			
				等離子發(fā)生器
			
				功率max.400w（可調(diào)）
    
				頻率：50KHz（可選配13.56MHz）    		
		
    
		
    
			
				供氣
			
				氣體流量控制器0-25cc/minw/精密針形閥
		
    
		
    
			
				壓力測(cè)量
			
				熱電偶真空計(jì)0-1Torr
		
    
		
    
			
				控制器
			
				PLC微電腦控制系統(tǒng)。鍵盤用戶界面，數(shù)字字母顯示器。設(shè)置方案工藝可以進(jìn)行自動(dòng)處理。
		
    
		
    
			
				安全保障
			
				一鍵急停按鈕
		
    
		
    
			
				電源
			
				220VAC，14A
		
    
		
    
			
				PE-50升級(jí)版
			
				處理面積191mmx223mmx90mm
		
    
	    

    

    
	
    
	附件（可選件）
    

    
抽氣裝置：推薦型號(hào)：5CFM2級(jí)直驅(qū)真空油泵
    
•氧氣發(fā)生器
    
•附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器，0-25cc/min
    
•50KHz/400w可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器，13.56MHz/125W/300W可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器自動(dòng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)電源(HF)RFPowerSupply&AutoMatchingNetwork
    
•接枝設(shè)備
    

    
	
    
	高級(jí)配置：
    

    
•PC/筆記本電腦的控制系統(tǒng)：基于Windows操作系統(tǒng)，裝有等PlasmaEtch操作軟件的筆記本電腦，包括全自動(dòng)系統(tǒng)操作，流程排序，多配方存儲(chǔ)，以及其他高級(jí)功能。
    
•質(zhì)量流量控制器：附加質(zhì)量流量控制器也可提供。
    
•氣流減壓裝置。
    

    

    

    

    

          
    
          
    
             
    
	
    
	處理實(shí)例：光刻膠去除
    

    
	
    
	
    
	
    
	
    
	
    
	 
    

    

    

          
    
         
        
    
          
        
    
     
    
   
    
   
    
 
    

    
 











 
    
   
    
       
   
    
 
    
 
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