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    PE75實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)

    PE-75小型等離子表面處理機(jī)是專門適用于大學(xué)/科研機(jī)構(gòu)、工廠研發(fā)的小批量樣品處理裝置,具有移動(dòng)方便、多種配置功能、超高性能及穩(wěn)定性、操作方便的特點(diǎn)。

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    PE-75臺(tái)式實(shí)驗(yàn)室等離子表面處理機(jī)


    PE-75小型等離子清洗機(jī)是專門適用于大學(xué)研究機(jī)構(gòu)和工廠研發(fā)部門設(shè)計(jì)的小批量樣品處理裝置.作為有針對(duì)的設(shè)計(jì),PE-75擁有一個(gè)大肚量的腔體和大面積的處理電極,適合于單個(gè)大樣品的處理。

    設(shè)備特點(diǎn):


    1.占地體積小,可放置在任何實(shí)驗(yàn)臺(tái)上。

    2.性能可靠“肚量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無(wú)縫焊接,真空腔體273mmDxφ254mm,樣品放置空間大。

    3. 配置靈活 可配置不同的頻率及功率:50KHz/13.56MHz;控制系統(tǒng)可選擇了PLC微電腦控制和更精準(zhǔn)的全數(shù)字電腦控制,以滿足不同用戶的要求。

    4. 操作簡(jiǎn)便,一般操作人員在極短的時(shí)間內(nèi)就可以熟練操作,甚至只需要幾分鐘就可掌握。

    5. 安全保障:在小型設(shè)備中,引入一鍵急停保護(hù)按鈕,可以快速終止實(shí)驗(yàn),以最小程度降低因操作失誤而造成對(duì)樣品的損害。






    標(biāo)準(zhǔn)配置
    真空腔 T6處理焊接耐用的6061鋁合金材料
    真空腔規(guī)格 φ254mmx273mmD
    電極規(guī)格 一層水平電極W228.6xD254mm間隔139.7mm
    等離子發(fā)生器 功率:max400W(連續(xù)可調(diào))頻率50KHz
    供氣 一路氣體通道,配備流量控制器0-25cc/minw/精密針形閥
    壓力測(cè)量 熱電偶真空計(jì)0-1Torr.供氣:6mm連接件
    控制器 PLC微電腦控制系統(tǒng)。鍵盤用戶界面,數(shù)字字母顯示器。方案工藝可以進(jìn)行自行設(shè)置。
    外部尺寸 457mmWX482mmDX609mmH
    狀態(tài)保護(hù) 安全保護(hù)型緊急停止按鈕

    附件(可選件)


    抽氣裝置:推薦型號(hào):5CFM 2級(jí)直驅(qū)真空油泵
    •氧氣發(fā)生器
    •附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器,0-25cc/min
    •50KHz/400w可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器,13.56MHz/125W/300W可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器自動(dòng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)電源(HF)RF Power Supply&Auto Matching Network
    •接枝設(shè)備


    高級(jí)配置:


    •PC/筆記本電腦的控制系統(tǒng):基于Windows操作系統(tǒng),裝有等PlasmaEtch操作軟件的筆記本電腦,包括全自動(dòng)系統(tǒng)操作,流程排序,多配方存儲(chǔ),以及其他高級(jí)功能。
    •質(zhì)量流量控制器:附加質(zhì)量流量控制器也可提供。
    •氣流減壓裝置。







    處理實(shí)例:ITO玻璃等離子處理后親水性及比表面能對(duì)比


        處理前:36號(hào)達(dá)因筆測(cè)試立刻收縮                          處理后:50號(hào)達(dá)因筆 測(cè)試合格




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